世界著名品牌雷尼紹激光干涉儀在精密機(jī)床檢測中起到重大作用，對于一臺CNC精密機(jī)床，自動轉(zhuǎn)動工作臺可用于測量轉(zhuǎn)動X、L、Z軸。用兩個單光束激光頭、兩個平面鏡標(biāo)靶以及快速界面卡，一次設(shè)置就可以測量圓和非圓的軌跡。同時還可以測定實際的進(jìn)給率及加速度。其精確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的環(huán)境補(bǔ)償，保證了±0.5 ppm的線性測量精度。其可以高達(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，最高線性測量速度可達(dá)4 m/s，即使在最高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測量選項（不只是線性）均采用干涉法測量，使您對記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。